一種半導(dǎo)體元器件用晶棒外徑研磨設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910957835.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110561264B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110561264B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-13 |
| 分類號(hào) | B24B37/02(2012.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 吳信任;沈方園 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 奧準(zhǔn)企業(yè)發(fā)展（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 溫州沖亞電子科技有限公司;朱飛龍 |
| 地址 | 201400 上海市奉賢區(qū)南橋鎮(zhèn)八字橋路1919號(hào)2幢12層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元器件用晶棒外徑研磨設(shè)備，包括工作臺(tái)、安裝架、承托機(jī)構(gòu)與研磨機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)上端安裝有承托機(jī)構(gòu)，承托機(jī)構(gòu)上端布置有安裝架，安裝架下端安裝有研磨機(jī)構(gòu)，研磨機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)齒輪、從動(dòng)齒輪、連接板與研磨支鏈，承托機(jī)構(gòu)包括對(duì)接支鏈、滑動(dòng)塊、壓緊板、固定板、伸縮板、承托支鏈與電動(dòng)滑塊，研磨支鏈包括工作板、調(diào)節(jié)桿、橫板、調(diào)節(jié)螺栓與研磨板。本發(fā)明在工作時(shí)通過(guò)承托機(jī)構(gòu)與研磨機(jī)構(gòu)的相互配合，達(dá)到交替對(duì)晶棒左右兩端進(jìn)行夾持的目的，以便一次性完成對(duì)晶棒整體的研磨工作，縮減了操作步驟，提高了研磨精度，且無(wú)需以人工方式對(duì)晶棒進(jìn)行夾緊，提高了對(duì)中精度。?? |
