一種用于晶圓制造的圓片清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021673496.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213763018U 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN213763018U 申請公布日 2021-07-23
分類號 B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 奧準(zhǔn)企業(yè)發(fā)展（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201400 上海市奉賢區(qū)南橋鎮(zhèn)八字橋路1919號2幢12層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于晶圓制造的圓片清洗設(shè)備，包括底板，底板上端左右兩側(cè)分別固定有支撐板，左右兩塊支撐板之間設(shè)置有一對呈左右對稱分布的半圓環(huán)，兩塊半圓環(huán)之間相接觸，半圓環(huán)內(nèi)壁開有凹痕，半圓環(huán)與支撐板之間設(shè)置有支撐塊，將進(jìn)晶圓卡入到半圓環(huán)的凹痕內(nèi)，通過電動伸縮桿拉伸使得兩個半圓環(huán)逐漸靠攏，凹痕能夠?qū)⒕A給夾持在半圓環(huán)內(nèi)，通過半圓環(huán)能夠?qū)A進(jìn)行穩(wěn)固的夾持住，第一防水電機(jī)帶動第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，圓片帶動圓盤刷轉(zhuǎn)動，圓盤刷將晶圓表面進(jìn)行清掃，通過軟管給噴頭提供清洗藥水，從而將晶圓清洗干凈，解決了目前的晶圓清洗設(shè)備在清洗過程中不便于對晶圓進(jìn)行夾持和翻轉(zhuǎn)的問題。