一種劃片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910750185.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110524732A 公開（公告）日 2019-12-03
申請公布號 CN110524732A 申請公布日 2019-12-03
分類號 B28D5/00;B28D5/04 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙彤宇;張志強;李振;司亞輝;孫偉 申請（專利權(quán)）人 鄭州光力瑞弘電子科技有限公司
代理機構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭州光力瑞弘電子科技有限公司
地址 450000 河南省鄭州市航空港區(qū)鄭港六路與鄭港二街交叉口東100米豫發(fā)藍山公館二樓229號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種劃片機。具體地，劃片機的刀具冷卻干燥系統(tǒng)，包括：控制系統(tǒng)；液體管路，其上串接有液路控制閥；氣體管路，其上串接有氣路控制閥；以及配置在空氣靜壓高速主軸的用于安裝刀片的一端的刀側(cè)噴頭，刀側(cè)噴頭用于從刀片的軸向側(cè)面向刀片噴吹；液體管路和氣體管路均與刀側(cè)噴頭相連通，控制系統(tǒng)分別與液路控制閥和氣路控制閥控制連接，并分別控制氣路控制閥和液路控制閥的通斷，以實現(xiàn)對刀側(cè)噴頭單獨供氣或供液。本發(fā)明的劃片機利用了刀側(cè)噴頭對刀片進行吹氣干燥，并不過多的增加主軸端部結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，而且從刀片的軸向旁側(cè)對刀片吹氣，也能夠提高刀片的干燥程度和干燥效率。