一種刀側(cè)噴頭組件、刀片冷卻裝置及劃片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910750193.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110497541B 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN110497541B 申請公布日 2021-07-02
分類號 B23Q11/10 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙彤宇;孫亞輝;陳志輝;吳振波;蘭劍 申請（專利權(quán)）人 鄭州光力瑞弘電子科技有限公司
代理機構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王子龍
地址 450000 河南省鄭州市航空港區(qū)鄭港六路與鄭港二街交叉口東100米豫發(fā)藍山公館二樓229號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓加工設備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種刀側(cè)噴頭組件、刀片冷卻裝置及劃片機。該劃片機包括機架、空氣靜壓高速主軸和刀片冷卻裝置，刀片冷卻裝置安裝在主軸的用于安裝刀片的一端；刀片冷卻裝置包括固定座、刀片主冷卻噴頭和刀側(cè)噴頭組件；刀片主冷卻噴頭安裝在固定座上；刀側(cè)噴頭組件安裝在固定座上，刀側(cè)噴頭組件包括噴頭座和刀側(cè)噴頭，刀側(cè)噴頭安裝在噴頭座上，具有用于從刀片的軸向旁側(cè)對刀片進行噴吹的噴吹管段；在使用時噴吹管段處于刀片外側(cè)的刀側(cè)噴頭轉(zhuǎn)動或通過萬向接頭可擺動的安裝在噴頭座上，且能轉(zhuǎn)動或擺動至在軸向上避開刀片的位置處。該劃片機用于解決現(xiàn)有的刀片冷卻裝置使劃片機中的刀片更換操作較麻煩的問題。