一種刀側噴頭組件、刀片冷卻裝置及劃片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910750193.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110497541A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN110497541A 申請公布日 2021-07-02
分類號 B28D5/00;B28D7/00;B28D7/02 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙彤宇;孫亞輝;陳志輝;吳振波;蘭劍 申請（專利權）人 鄭州光力瑞弘電子科技有限公司
代理機構 鄭州睿信知識產權代理有限公司 代理人 王子龍
地址 450000 河南省鄭州市航空港區(qū)鄭港六路與鄭港二街交叉口東100米豫發(fā)藍山公館二樓229號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓加工設備技術領域，特別涉及一種刀側噴頭組件、刀片冷卻裝置及劃片機。該劃片機包括機架、空氣靜壓高速主軸和刀片冷卻裝置，刀片冷卻裝置安裝在主軸的用于安裝刀片的一端；刀片冷卻裝置包括固定座、刀片主冷卻噴頭和刀側噴頭組件；刀片主冷卻噴頭安裝在固定座上；刀側噴頭組件安裝在固定座上，刀側噴頭組件包括噴頭座和刀側噴頭，刀側噴頭安裝在噴頭座上，具有用于從刀片的軸向旁側對刀片進行噴吹的噴吹管段；在使用時噴吹管段處于刀片外側的刀側噴頭轉動或通過萬向接頭可擺動的安裝在噴頭座上，且能轉動或擺動至在軸向上避開刀片的位置處。該劃片機用于解決現有的刀片冷卻裝置使劃片機中的刀片更換操作較麻煩的問題。