劃片機刀片監(jiān)測裝置及劃片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011575955.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112606234A 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN112606234A 申請公布日 2021-04-06
分類號 B28D5/00;B28D5/02;B24B27/06;B24B41/00;B24B49/12 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙彤宇;孫偉;石云鵬;李曉寧;楊紅飛 申請（專利權(quán)）人 鄭州光力瑞弘電子科技有限公司
代理機構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李天龍
地址 450000 河南省鄭州市航空港區(qū)鄭港六路與鄭港二街交叉口東100米豫發(fā)藍山公館二樓229號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及利用旋轉(zhuǎn)刀具對半導體材料精加工領域。本發(fā)明保護一種劃片機刀片監(jiān)測裝置及劃片機，劃片機刀片監(jiān)測裝置包括安裝座、光線射出件、受光件；所述安裝座上配置有射出件防護腔和受光件防護腔，光線射出件上與受光件相對的光線射出端面處于射出件防護腔內(nèi)，受光件上與光線射出件相對的受光端面處于受光件防護腔內(nèi)。通過兩防護腔上的進氣口向兩防護腔內(nèi)通氣，對光線射出端面和受光端面進行防護，使外界的污染物難以進入防護腔內(nèi)，難以污染受光端面和光線射出端面，由于可以對防護腔持續(xù)通氣，能夠?qū)崟r對光線射出端面和受光端面進行防護，解決了目前的刀片監(jiān)測裝置需要停機清洗造成的監(jiān)測結(jié)果準確度較低的技術(shù)問題。