一種多頭納米壓印裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520436329.2 申請日 -
公開（公告）號 CN204832765U 公開（公告）日 2015-12-02
申請公布號 CN204832765U 申請公布日 2015-12-02
分類號 G03F7/00(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 南京鵬派新材料科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 210028 江蘇省南京市棲霞區(qū)和燕路371號東南大學科技園科創(chuàng)樓C405
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多頭納米壓印設備，主要包括：紫外光源系統(tǒng)1，模板固定支撐板2，壓印模板3，襯底固定系統(tǒng)4，襯底傳輸系統(tǒng)5，載片系統(tǒng)6，大理石減震臺7，支撐系統(tǒng)8，控制系統(tǒng)9。其中襯底固定系統(tǒng)4、襯底傳輸系統(tǒng)5、載片系統(tǒng)6、支撐系統(tǒng)8固定于大理石減震臺7，通過支撐系統(tǒng)8固定模板固定支撐板2、將模板3固定在模板固定支撐板2上，通過控制系統(tǒng)控制整個壓印過程。實現(xiàn)全自動熱壓印、紫外壓印及熱紫外壓印過程，為納米壓印襯底圖形的量產(chǎn)提供可能。