一種紫外滾輪式納米壓印裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621039209.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206051542U 公開（公告）日 2017-03-29
申請公布號 CN206051542U 申請公布日 2017-03-29
分類號 B81C3/00 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 南京鵬派新材料科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 210028 江蘇省南京市棲霞區(qū)和燕路371號東南大學國家大學科技園科創(chuàng)樓C405
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種紫外滾輪式納米壓印裝置，屬于微納制造和器件制造技術領域。包括設備密封罩、用于將軟模板均勻壓印于襯底模板上的壓印滾輪、用于將軟模板均勻纏繞的送料滾輪、軟模板夾具、用于調(diào)節(jié)壓印滾輪與軟模板間壓力的伸縮桿、用于壓印結束時切斷軟模板的刀片以及提供固化所需紫外光線的紫外燈，本實用新型提供的一種紫外滾輪式納米壓印裝置，通過顯示控制箱驅(qū)動送料滾輪與壓印滾輪由左至右勻速運動，將軟模板均勻壓印在襯底模板上，壓印滾輪運動過程結束后，紫外燈自動開啟，光照一段時間固化后，將軟模板切斷，即可取出襯底模板，完成了本次滾輪式壓印。