一種紫外光固化納米壓印光刻膠及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510637694.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105242493A 公開（公告）日 2016-01-13
申請公布號 CN105242493A 申請公布日 2016-01-13
分類號 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 南京鵬派新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 210028 江蘇省南京市棲霞區(qū)和燕路371號東南大學(xué)科技園科創(chuàng)樓C405
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種紫外光固化納米壓印光刻膠及其制備方法，該光刻膠包括：環(huán)氧丙烯酸酯5％-20％、紫外光引發(fā)劑1％-5％、乙二醇單異丙基醚30％-70％、活性稀釋劑10％-15％、表面活性劑10％-20％、有機(jī)硅雜化材料5％-10％、其他微量助劑0.5％-2％。在無紫外光的條件下，先往反應(yīng)釜中加入乙二醇單異丙基醚，在80轉(zhuǎn)/分鐘的攪拌下加入活性稀釋劑、環(huán)氧丙烯酸酯，3分鐘后加入紫外光引發(fā)劑，待完全溶解后加入表面活性劑、有機(jī)硅雜化材料和微量助劑。5分鐘后用2000目濾網(wǎng)過濾得成品。該成品透明均一、有良好的儲存性能，且粘度較低，硅雜化材料有效保證了其抗刻蝕性能，能得到高分辨率的納米圖案。