一種紫外光固化納米壓印光刻膠及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510637694.4 申請日 -
公開(公告)號 CN105242493A 公開(公告)日 2016-01-13
申請公布號 CN105242493A 申請公布日 2016-01-13
分類號 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I 分類 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(專利權(quán))人 南京鵬派新材料科技有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種紫外光固化納米壓印光刻膠及其制備方法,該光刻膠包括:環(huán)氧丙烯酸酯5%-20%、紫外光引發(fā)劑1%-5%、乙二醇單異丙基醚30%-70%、活性稀釋劑10%-15%、表面活性劑10%-20%、有機(jī)硅雜化材料5%-10%、其他微量助劑0.5%-2%。在無紫外光的條件下,先往反應(yīng)釜中加入乙二醇單異丙基醚,在80轉(zhuǎn)/分鐘的攪拌下加入活性稀釋劑、環(huán)氧丙烯酸酯,3分鐘后加入紫外光引發(fā)劑,待完全溶解后加入表面活性劑、有機(jī)硅雜化材料和微量助劑。5分鐘后用2000目濾網(wǎng)過濾得成品。該成品透明均一、有良好的儲存性能,且粘度較低,硅雜化材料有效保證了其抗刻蝕性能,能得到高分辨率的納米圖案。