一種新型多晶硅片清洗機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520925971.7 申請日 -
公開（公告）號 CN205248239U 公開（公告）日 2016-05-18
申請公布號 CN205248239U 申請公布日 2016-05-18
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭長明;王瀟;趙海洋;張立;許春杰;謝保衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 江蘇潤麗光能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 代理人 周蔚然
地址 221600 江蘇省徐州市沛縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)沛屯大道西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種新型多晶硅片清洗機(jī)，包括清洗倉、瀝水倉和干燥倉，清洗倉內(nèi)中間橫向設(shè)置軌道一，所述軌道一兩側(cè)設(shè)置噴霧噴頭，噴霧噴頭之間設(shè)置超聲波發(fā)射器，瀝水倉內(nèi)設(shè)置軌道二，瀝水倉內(nèi)左側(cè)上方設(shè)置干燥空氣入口，干燥倉與瀝水倉尺寸相同，干燥倉左側(cè)下方設(shè)置干燥空氣入口二，干燥倉與瀝水倉中間設(shè)置擋板，所述擋板在軌道二通過處開有通道，本實(shí)用新型所述的新型多晶硅片清洗機(jī)，通過軌道一和軌道二的運(yùn)作，將碼放整齊的多晶硅片在清洗倉內(nèi)清洗完成運(yùn)送至瀝水倉，瀝水倉內(nèi)設(shè)置干燥空氣入口一，在自然瀝水過程中加速水分蒸發(fā)，在干燥倉內(nèi)設(shè)置干燥空氣入口二，降低空氣含水量，提高干燥速度，整個(gè)過程自動化完成，節(jié)約人力，減少人為的損壞。