一種氮化硅熱壓燒結設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111657931.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114413629A 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN114413629A 申請公布日 2022-04-29
分類號 F27B17/00（2006.01）I;F27D99/00（2010.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 陳全 申請（專利權）人 蘇州昂炻高新材料科技有限公司
代理機構 北京酷愛智慧知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉娟
地址 215299江蘇省蘇州市吳江區(qū)江陵街道長安路2358號吳江科技創(chuàng)業(yè)園綜合樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化硅熱壓燒結設備，涉及氮化硅熱壓燒結設備技術領域，本發(fā)明包括工作臺，工作臺上端設置有殼體，殼體內(nèi)設置加熱裝置，殼體的下端開設有第一通孔，工作臺貫穿開設有第二通孔，工作臺的下方設置有能經(jīng)第二通孔和第一通孔進入到殼體內(nèi)的承壓板，通孔內(nèi)設置有密封組件，殼體內(nèi)設置有能沿豎直方向移動的豎向壓板，殼體內(nèi)還設置有能沿橫向移動的橫向壓板，豎向壓板的下端設置有能沿豎向壓板下端面移動的固定板，橫向壓板的上端設置有導向組件，導向組件能帶動固定板同步移動，固定板與橫向壓板之間還設置有間隙補償組件。能夠?qū)Φ枋┘訂屋S向力的同時，能夠?qū)Φ璧膫?cè)壁施加壓力，使氮化硅側(cè)壁受到的壓力可調(diào)。