一種光刻板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120544009.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214504119U 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN214504119U 申請公布日 2021-10-26
分類號 G03F1/42（2012.01）I;G03F1/60（2012.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 易翰翔;武杰;郝銳;李玉珠;陳慧秋 申請（專利權(quán)）人 廣東德力光電有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 顏希文;管瑩
地址 529000廣東省江門市江海區(qū)彩虹路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光刻板技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種光刻板，包括基板、有效芯片和無效芯片，基板由有效區(qū)域和無效區(qū)域組成，有效區(qū)域為以基板的中心為圓心的圓形區(qū)域，無效區(qū)域為位于有效區(qū)域的外周的環(huán)形區(qū)域，有效芯片設(shè)有多個，多個有效芯片設(shè)置在有效區(qū)域上，無效芯片設(shè)有多個，多個無效芯片設(shè)置在無效區(qū)域上。本實用新型將無效芯片設(shè)置在位于有效區(qū)域外周的無效區(qū)域內(nèi)，在無效區(qū)域內(nèi)使用無效芯片替代有效芯片，有效防止有效芯片在無效區(qū)域內(nèi)發(fā)生污染或無效化而出現(xiàn)異常，無需目檢，節(jié)約了時間，降低返修率，降低成本，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。