一種用于大型氣相沉積爐的可調(diào)式導(dǎo)氣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021094718.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212834018U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212834018U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 張彥利;趙永尚;趙永雷;張全順 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古中晶科技研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市興科達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 覃曼萍 |
| 地址 | 010070內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市金橋開發(fā)區(qū)寶力爾街15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于大型氣相沉積爐的可調(diào)式導(dǎo)氣裝置，其包括“Z”形的可伸縮式導(dǎo)氣管組件；本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)可伸縮式導(dǎo)氣管組件，可根據(jù)氣柱偏移的位置調(diào)節(jié)長度，使進(jìn)氣口位于產(chǎn)品中心，保證每柱產(chǎn)品內(nèi)有且只有一個(gè)進(jìn)氣口，確保爐內(nèi)產(chǎn)品均勻通氣，沉積效果良好，產(chǎn)品表面炭黑減少或無炭黑；提高了產(chǎn)品的沉積質(zhì)量，值得大范圍推廣使用。?? |
