一種化學(xué)氣相法制備磁性材料的設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920896979.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210657126U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210657126U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-02 |
| 分類號(hào) | C23C16/44(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙厚軍;黃玉國(guó);史靈海 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 棗莊億源電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 277800山東省棗莊市薛城區(qū)高新區(qū)張范街道辦事處光明大道北欣興路東側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相法制備磁性材料的設(shè)備，包括反應(yīng)腔、反應(yīng)氣源、保護(hù)氣源、保護(hù)氣泵、保護(hù)氣管、氣控泵閥、保護(hù)氣電感閥、尾氣回收泵、尾氣管，所述反應(yīng)腔的底端連接氣控泵閥，所述尾氣管連接在反應(yīng)腔的頂端，所述尾氣回收泵連接在尾氣管上。本實(shí)用新型利既磁性材料的生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)置，改變傳統(tǒng)所采用的高能球磨法，以及非晶體晶化的方法，改進(jìn)為簡(jiǎn)單的化學(xué)氣相沉淀的方法進(jìn)行制備磁性材料，因?yàn)榇祟惙椒ㄖ苽浯判圆牧系脑O(shè)備較為簡(jiǎn)單，而且制作成本較低，目前處于初發(fā)階段，俱已發(fā)現(xiàn)生長(zhǎng)速度快、周期短的特點(diǎn)，對(duì)于批量生產(chǎn)非常有利，避免了前期高昂的投入費(fèi)用和后期的高昂維護(hù)費(fèi)用，而且尾氣處理簡(jiǎn)單不具有太大的污染性，宜推廣使用。?? |
