一種太陽能電池返工片的處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710485025.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107195728A 公開（公告）日 2017-09-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN107195728A 申請(qǐng)公布日 2017-09-22
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 繆乾;朱海龍;王善曉;羅茂盛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江陰鑫輝太陽能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 江陰鑫輝太陽能有限公司
地址 215400 江蘇省無錫市江陰市新橋鎮(zhèn)新楊路15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種太陽能電池返工片的處理方法，其無需二次制絨、節(jié)省酸用量，且無需返工片的前置鍍膜工藝、減少色差，解決了返工片的亮面問題。將鍍膜的臟片洗去膜，之后將洗去膜的硅片用爐前清洗工藝再清洗一次去掉硅片表面的臟污以及金屬離子，之后將清洗后的硅片置于擴(kuò)散爐管內(nèi)進(jìn)行熱氧化工藝，通過熱氧化工藝增加擴(kuò)散氮及小氧保證片子方阻基本不變，且形成10nm±2nm的氧化層，之后將熱氧化后的硅片進(jìn)行濕法刻蝕工藝及正常鍍膜工藝鍍膜；鍍膜出來后，將電池片經(jīng)過正常印刷圖，檢測，制成電池片。