組合泵泵體
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921932055.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210949019U | 公開（公告）日 | 2020-07-07 |
| 申請公布號 | CN210949019U | 申請公布日 | 2020-07-07 |
| 分類號 | F04B23/08(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李回城;任寧;包華斌;陳明月 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海肇民動力科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海立群專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 楊楷;毛立群 |
| 地址 | 201515上海市金山區(qū)茸衛(wèi)公路389號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，公開了一種組合泵泵體，包括：泵殼，內(nèi)部形成為腔體，泵殼上還設(shè)置有至少兩個腔體開口；隔離板，設(shè)置于泵殼內(nèi)，將腔體分隔為相互獨立的第一腔體和第二腔體；第一腔體至少具有一個完整的腔體開口，第二腔體至少具有另一個完整的腔體開口。本申請中的組合泵泵體通過設(shè)置隔離板將泵殼內(nèi)的腔體分為相互獨立的第一腔體和第二腔體，并且，第一腔體和第二腔體能夠和其他機械結(jié)構(gòu)組成相互獨立的兩個泵結(jié)構(gòu)，從而優(yōu)化泵的空間結(jié)構(gòu)，對獨立的泵結(jié)構(gòu)進行合并，減小安裝泵結(jié)構(gòu)所需要的空間，使得泵結(jié)構(gòu)適用于更緊湊的空間內(nèi)。此外，通過安裝組合泵泵體，能夠減少安裝步驟而提高安裝效率。?? |
