集成分子束外延的新型約瑟夫森結(jié)制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111575030.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114361325A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114361325A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) H01L39/22（2006.01）I;H01L39/24（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I;C23C14/28（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C30B23/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姚曉梅;吳永政;季陽(yáng);王喬;楊冠卓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華東計(jì)算技術(shù)研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第三十二研究所）
代理機(jī)構(gòu) 上海段和段律師事務(wù)所 代理人 祁春倪
地址 201800上海市嘉定區(qū)嘉羅路1485號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種集成分子束外延的新型約瑟夫森結(jié)制備方法，本方法適用于新型材料體系的高質(zhì)量約瑟夫森結(jié)的制備，各真空部件通過(guò)傳樣桿實(shí)現(xiàn)互聯(lián)，通過(guò)擋板閥進(jìn)行隔離，實(shí)現(xiàn)各步驟之間的高真空有機(jī)互聯(lián)，有效保證各步驟之間材料的純度與薄膜的質(zhì)量。在分子束外延腔體中添加多種束源爐，保證絕緣層材料體系的豐富性，在離子束蒸鍍腔體中，采用不同種類的超導(dǎo)金屬作為約瑟夫森結(jié)三明治結(jié)構(gòu)的頂端與低端。本發(fā)明大大豐富了約瑟夫森結(jié)系統(tǒng)中的材料體系，又為結(jié)區(qū)的制備提供了全周期的高真空與高潔凈度，極大程度提升了制得的約瑟夫森結(jié)的質(zhì)量。因此，本方法對(duì)于超導(dǎo)干涉儀，超導(dǎo)量子計(jì)算機(jī)，參量放大器等以約瑟夫森結(jié)為基礎(chǔ)的器件制備具有重要意義。