一種新型游星輪載體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022143372.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN213635924U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號(hào) CN213635924U 申請公布日 2021-07-06
分類號(hào) H01L21/673 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱超;鄧見會(huì) 申請（專利權(quán)）人 北京石晶光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳佳麗
地址 100086 北京市海淀區(qū)知春路128號(hào)1號(hào)7層樓702
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種新型游星輪載體，包括游星輪本體(1)、設(shè)置于游星輪本體的邊緣上的輪齒(2)、設(shè)置于游星輪本體上的工件孔(3)，靠近工件孔角部的側(cè)壁上設(shè)有在光刻腐蝕拋光加工時(shí)用于避讓晶片角部的凸壁(31)，從而徹底解決光刻腐蝕拋光加工過程中角部崩邊的缺陷，提高晶片加工質(zhì)量，提高產(chǎn)品綜合合格率。