一種小直徑晶片清洗盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022456405.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213026071U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213026071U 申請公布日 2021-04-20
分類號 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱中曉;張凱劍 申請（專利權）人 北京石晶光電科技股份有限公司
代理機構 洛陽華和知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉亞莉
地址 100086北京市海淀區(qū)知春路128號1號7層樓702
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種小直徑晶片清洗盒，包括盒體、設置于盒體上的多個清洗槽及定位孔，所述清洗槽的兩側沿其長度方向對稱設有內壁為弧面的多個夾持槽，位于清洗槽同一側上的相鄰夾持槽呈間隔設置；位于清洗槽底部的盒體上沿清洗槽的長度方向設有多個透水孔。清洗時晶片放置在夾持槽內，相鄰晶片之間存在間距，避免疊片現(xiàn)象的出現(xiàn)，保證單個晶片的清洗需要，洗凈質量高，同時清洗盒具有定位孔，允許將至少兩個清洗盒疊放在一起實現(xiàn)組合式清洗，不但清洗數(shù)量多，而且清洗過程中放置于相對夾持槽內的晶片受另一清洗盒的覆蓋，避免因晶片體積小漂浮起來造成的跑料、丟料現(xiàn)象。??