一種透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010257427.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111572203B 公開（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN111572203B 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) B41J2/16;B41J2/14 分類 印刷；排版機(jī)；打字機(jī)；模印機(jī)〔4〕;
發(fā)明人 鄭冬琛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京泰微華贏技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 崔自京
地址 100000 北京市昌平區(qū)回龍觀西大街35號(hào)院1號(hào)樓1層162
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法，噴墨頭前端包括墨水腔板和噴嘴板，墨水腔板和噴嘴板均采用玻璃晶圓制成，透明噴墨頭的制備包括以下步驟：S1、在墨水腔板的玻璃晶圓上蒸鍍下電極，利用絲網(wǎng)印刷工藝按照電極圖案印刷壓電陶瓷層；S2、在壓電陶瓷層上繼續(xù)印刷上電極；S3、通過半導(dǎo)體鍵合工藝將墨水腔板和噴嘴板鍵合在一起；S4、在壓電陶瓷極化儀中將壓電陶瓷層中的壓電陶瓷極化。本發(fā)明使噴墨頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)被直觀觀察，減少噴墨頭的故障檢測(cè)步驟和檢修維護(hù)成本，噴嘴板固定穩(wěn)固同時(shí)適應(yīng)于多種墨水成分，還能簡(jiǎn)化壓電驅(qū)動(dòng)端的制備工藝、減少化學(xué)品的使用以及降低壓電驅(qū)動(dòng)端的制備成本，以滿足生產(chǎn)及環(huán)保需求。