一種透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010257427.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111572203A | 公開(公告)日 | 2021-06-08 |
申請公布號 | CN111572203A | 申請公布日 | 2021-06-08 |
分類號 | B41J2/16;B41J2/14 | 分類 | 印刷;排版機;打字機;模印機〔4〕; |
發(fā)明人 | 鄭冬琛 | 申請(專利權(quán))人 | 北京泰微華贏技術(shù)有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京高沃律師事務(wù)所 | 代理人 | 張德才 |
地址 | 101300 北京市順義區(qū)牛欄山鎮(zhèn)騰仁路22號4幢1層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法,噴墨頭前端包括墨水腔板和噴嘴板,墨水腔板和噴嘴板均采用玻璃晶圓制成,透明噴墨頭的制備包括以下步驟:S1、在墨水腔板的玻璃晶圓上蒸鍍下電極,利用絲網(wǎng)印刷工藝按照電極圖案印刷壓電陶瓷層;S2、在壓電陶瓷層上繼續(xù)印刷上電極;S3、通過半導體鍵合工藝將墨水腔板和噴嘴板鍵合在一起;S4、在壓電陶瓷極化儀中將壓電陶瓷層中的壓電陶瓷極化。本發(fā)明使噴墨頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)被直觀觀察,減少噴墨頭的故障檢測步驟和檢修維護成本,噴嘴板固定穩(wěn)固同時適應(yīng)于多種墨水成分,還能簡化壓電驅(qū)動端的制備工藝、減少化學品的使用以及降低壓電驅(qū)動端的制備成本,以滿足生產(chǎn)及環(huán)保需求。 |
