一種P型摻雜層朝前的異質(zhì)結(jié)光伏電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011147172.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114497246A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114497246A 申請公布日 2022-05-13
分類號 H01L31/0236（2006.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/074（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許志 申請（專利權(quán)）人 福建新峰二維材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000福建省泉州市臺商投資區(qū)東園鎮(zhèn)東經(jīng)2路辦公路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種P型摻雜層朝前的異質(zhì)結(jié)光伏電池的制備方法，所述方法包括如下步驟：硅片預(yù)清洗；PSG氧化層沉積及高溫處理；去除表面的PSG/USG氧化層，用堿液去損傷和制絨，并清洗；PECVD鍍膜制備表面鈍化膜層和摻雜膜層；PVD磁控濺射制備透明導(dǎo)電膜；表面形成金屬柵線。本發(fā)明把P型摻雜的薄膜層前置，可以降低對硅片品質(zhì)的敏感性，為了消除原有P型非晶硅的缺點(diǎn)，用含氧型P型微晶代替?zhèn)鹘y(tǒng)P行非晶硅膜層，同時(shí)增大能帶帶隙和提高導(dǎo)電性，傳統(tǒng)上成本較低的鑄錠單晶方式也可以導(dǎo)入異質(zhì)結(jié)的規(guī)模量產(chǎn)，對異質(zhì)結(jié)的持續(xù)降本非常有利，同時(shí)現(xiàn)有的多晶爐可以經(jīng)簡單改造，形成有效產(chǎn)能，減少設(shè)備的投資浪費(fèi)。