一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022643112.2 申請日 -
公開(公告)號 CN213832914U 公開(公告)日 2021-07-30
申請公布號 CN213832914U 申請公布日 2021-07-30
分類號 B65D81/20(2006.01)I;B65D25/54(2006.01)I 分類 輸送;包裝;貯存;搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 郭鴻杰;馮秋潔;王湘麟;趙府 申請(專利權(quán))人 寧波國際材料基因工程研究院有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 潘登
地址 315000浙江省寧波市寧波高新區(qū)聚賢路1299號研發(fā)園2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移機構(gòu),該超高真空樣品轉(zhuǎn)移機構(gòu)包括轉(zhuǎn)移體、載物件、無源吸氣泵、真空計和觀察窗。轉(zhuǎn)移體形成有轉(zhuǎn)移腔,轉(zhuǎn)移體上設(shè)有第一真空法蘭、第二真空法蘭、第三真空法蘭和第四真空法蘭,第一真空法蘭能夠與樣品制備真空系統(tǒng)密封連接。載物件設(shè)在轉(zhuǎn)移腔中,載物件用于承載樣品。無源吸氣泵與第二真空法蘭密封連接,無源吸氣泵能夠無源形成并維持轉(zhuǎn)移腔的真空環(huán)境。真空計與第三真空法蘭密封連接。觀察窗與第四真空法蘭密封連接,第四真空法蘭位于轉(zhuǎn)移體的頂壁上。該超高真空樣品轉(zhuǎn)移機構(gòu)能夠便于長時間的運輸且能長時間維持超高真空度。