一種用于VGF磷化銦單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)的爐芯

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121613081.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215328462U 公開（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN215328462U 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類號(hào) C30B29/40（2006.01）I;C30B11/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 趙興凱;韋華;葉曉達(dá);包文瑧;韓家賢;王順金;陳婭君;祝永成;柳廷龍;黃平;劉漢保 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆明祥和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉敏
地址 650000云南省昆明市高新區(qū)電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)廠房A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種用于VGF磷化銦單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)的爐芯，所述爐芯從內(nèi)到外依次包括爐芯桿、高鋁水泥層和濕氈層，所述爐芯桿包括圓柱形主桿和兩條半圓形側(cè)管，側(cè)管對(duì)稱設(shè)置于主桿兩側(cè)，并和主桿一體成型，爐芯桿為石英材質(zhì)，所述側(cè)管內(nèi)置測(cè)溫?zé)犭娕?，且測(cè)溫?zé)犭娕寂c爐芯桿活動(dòng)連接，本實(shí)用新型的VGF法磷化銦單晶生長(zhǎng)爐芯，設(shè)計(jì)科學(xué)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，爐芯內(nèi)測(cè)溫?zé)犭娕嘉恢每删_調(diào)整，使不同爐芯的測(cè)溫點(diǎn)固定一致，增加了爐芯內(nèi)測(cè)溫的真實(shí)準(zhǔn)確性，特別地，在測(cè)溫?zé)犭娕际Ш?，可以自由拆卸測(cè)溫?zé)犭娕歼M(jìn)行維修或更換，提高了爐芯使用壽命，節(jié)約生產(chǎn)成本。