一種靜電吸附裝置監(jiān)測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820325806.1 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN208013277U 公開(公告)日 2018-10-26
申請公布號(hào) CN208013277U 申請公布日 2018-10-26
分類號(hào) G01R19/00;G01R29/12 分類 測量;測試;
發(fā)明人 汪海濤;徐紹宸;李富海;劉晨穎;陳思遙 申請(專利權(quán))人 吸力奇跡(北京)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吸力奇跡(北京)科技有限公司;吸力奇跡(天津)科技有限公司
地址 100191 北京市海淀區(qū)知春路7號(hào)致真大廈A座4層A006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種靜電吸附裝置監(jiān)測系統(tǒng),應(yīng)用于雙極性靜電吸盤;其中,雙極性靜電吸盤包括第一輸入端和第二輸入端;所述靜電吸附裝置監(jiān)測系統(tǒng)包括:PLC控制器、電壓表、電流表和電場強(qiáng)度探頭;其中,電壓表并聯(lián)在第一輸入端和第二輸入端之間;電壓表通過第一數(shù)據(jù)線與PLC控制器連接;第一數(shù)據(jù)線為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線;第二輸入端接入電流表;電流表通過第二數(shù)據(jù)線與PLC控制器連接;第二數(shù)據(jù)線為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線;電場強(qiáng)度探頭內(nèi)埋于雙極性靜電吸盤接觸層內(nèi);電場強(qiáng)度探頭通過第三數(shù)據(jù)線與PLC控制器連接;第三數(shù)據(jù)線為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線;電流表檢測到的第一電流>預(yù)設(shè)電流時(shí),PLC控制器發(fā)出報(bào)警信號(hào)。