氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111425191.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114063688A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114063688A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | G05D27/02（2006.01）I;G01N30/32（2006.01）I | 分類(lèi) | 控制；調(diào)節(jié); |
| 發(fā)明人 | 郝明富;黃華;劉大偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海儀電分析儀器有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海九澤律師事務(wù)所 | 代理人 | 周云 |
| 地址 | 200000上海市松江區(qū)徐塘路88號(hào)7幢4層、9幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，包括流量比例閥、流量傳感器、ADC芯片、MCU、DAC芯片與可調(diào)電流源模塊，所述流量傳感器與所述ADC芯片輸入端電連接，所述MCU分別電連接所述ADC芯片與DAC芯片，所述DAC芯片的輸出端電連接所述可調(diào)電流源模塊的輸入端；所述流量比例閥具有電信號(hào)輸入端與電信號(hào)反饋端，所述可調(diào)電流源模塊的執(zhí)行端電連接所述流量比例閥的電信號(hào)輸入端，所述流量比例閥的電信號(hào)反饋端電連接所述可調(diào)電流源模塊的反饋端。上述氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，形成了一個(gè)用可調(diào)電流源模塊控制氣體流量的閉環(huán)系統(tǒng)，提高了氣體流量的控制精度。 |
