氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122946735.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216848575U 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN216848575U 申請公布日 2022-06-28
分類號 G05D27/02（2006.01）I;G01N30/32（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 郝明富;黃華;劉大偉 申請（專利權(quán)）人 上海儀電分析儀器有限公司
代理機構(gòu) 上海九澤律師事務(wù)所 代理人 -
地址 200000上海市松江區(qū)徐塘路88號7幢4層、9幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，包括流量比例閥、流量傳感器、ADC芯片、MCU、DAC芯片與可調(diào)電流源模塊，所述流量傳感器與所述ADC芯片輸入端電連接，所述MCU分別電連接所述ADC芯片與DAC芯片，所述DAC芯片的輸出端電連接所述可調(diào)電流源模塊的輸入端；所述流量比例閥具有電信號輸入端與電信號反饋端，所述可調(diào)電流源模塊的執(zhí)行端電連接所述流量比例閥的電信號輸入端，所述流量比例閥的電信號反饋端電連接所述可調(diào)電流源模塊的反饋端。上述氣體的高精度電子壓力流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，形成了一個用可調(diào)電流源模塊控制氣體流量的閉環(huán)系統(tǒng)，提高了氣體流量的控制精度。