一種可靈活調(diào)節(jié)水平度的MEMS探針卡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110785812.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113419163A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113419163A 申請公布日 2021-09-21
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫銳鋒;劉志廣;劉俊 申請（專利權(quán)）人 深圳市道格特科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 彭西洋;彭濤
地址 518000廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道清祥路寶能科技園6棟B座3樓KLM單位
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓探針卡技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種可靈活調(diào)節(jié)水平度的MEMS探針卡，通過內(nèi)水平調(diào)節(jié)套筒和外水平調(diào)節(jié)套筒均分別設(shè)有多個長度規(guī)格，且兩相鄰的內(nèi)水平調(diào)節(jié)套筒和外水平調(diào)節(jié)套筒的長度規(guī)格均相差30微米，將MEMS探針卡組件安裝在支架的下端壁上，當MEMS探針卡組件出現(xiàn)不平整時，通過測量MEMS探針卡組件的水平度，然后分別更換不同長度規(guī)格的內(nèi)水平調(diào)節(jié)套筒和外水平調(diào)節(jié)套筒，從而實現(xiàn)靈活調(diào)節(jié)MEMS探針卡組件的水平度，且內(nèi)水平調(diào)節(jié)套筒和外水平調(diào)節(jié)套筒分別通過螺栓和壓板固定在支架上，牢固可靠，有效避免探針卡在移動過程中水平度發(fā)生改變，有效保證了MEMS探針卡的測量精度。