一種磷化銦單晶爐磷泡升降裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720806411.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207109149U 公開(kāi)（公告）日 2018-03-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN207109149U 申請(qǐng)公布日 2018-03-16
分類號(hào) C30B29/40 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 葉順閔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶鼎力弘科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華識(shí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 葉順閔;謝明達(dá);重慶鼎力弘科技有限公司
地址 201204 上海市浦東新區(qū)北中路383弄11號(hào)401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磷化銦單晶爐磷泡升降裝置，包括支撐柱、磷泡桿與磷泡，所述支撐柱頂部連接支撐座，所述支撐座頂部設(shè)有升降電機(jī)，所述升降電機(jī)底部連接升降桿，所述支撐座底部?jī)蓚?cè)連接有滑板，所述升降桿底部連接第一支撐板，所述第一支撐板兩端通過(guò)滑輪與滑板內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接，所述第一支撐板底部?jī)蓚?cè)通過(guò)連接板連接有第二支撐板，所述第二支撐板頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)底部連接磷泡桿，所述磷泡桿底部連接磷泡，所述磷泡底部連接磷泡管，本實(shí)用新型用于磷化銦單晶爐內(nèi)磷注入法合成磷化銦多晶，通過(guò)設(shè)置升降電機(jī)與旋轉(zhuǎn)電機(jī)，使磷泡在磷化銦合成工藝中可升降和水平旋轉(zhuǎn)，并通過(guò)兩個(gè)滑輪在滑板內(nèi)側(cè)滑動(dòng)，增強(qiáng)了升降的穩(wěn)定。