準分子激光器放電腔的窗片結構及準分子激光器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010616243.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113872025A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113872025A 申請公布日 2021-12-31
分類號 H01S3/034（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙江山;郭馨;王倩;劉廣義;劉斌;沙鵬飛;詹紹通;劉明雷;胡馨月;江銳 申請（專利權）人 北京科益虹源光電技術有限公司
代理機構 深圳市科進知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 魏毅宏
地址 100000北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號10號樓二層201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及準分子激光器領域，具體涉及一種準分子激光器放電腔的窗片結構，包括：光學窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3為內部光學窗片，V1、V4為外部光學窗片，單側的光學窗片V1、V2和單側的光學窗片V3、V4在放電腔體兩側對稱布置。本發(fā)明中雙光學窗片結構設計極大改善了以往單一光學窗片結構容易因為應力變形所導致的使用壽命下降和傳輸效能降低的問題。另單側的光學窗片V1、V2和單側的光學窗片V3、V4在放電腔體兩側對稱布置，且各光學窗片接近布儒斯特角設置可以起到有效的激光傳輸偏振特性增強作用。雙光學窗片結構的設計對于腔體內部氣體密封特性也得到顯著的改善。本發(fā)明能夠有效提升光學窗片使用壽命，提升激光傳輸效能。