一種離線光學(xué)元件裝調(diào)平臺及裝調(diào)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010842162.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114077033A 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN114077033A 申請公布日 2022-02-22
分類號 G02B7/18（2021.01）I;G02B27/62（2006.01）I;H01S3/02（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王倩;蔡森;趙江山;劉廣義;趙麗紅;胡馨月;周翊;江銳 申請（專利權(quán)）人 北京科益虹源光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科進(jìn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹衛(wèi)良
地址 100000北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號10號樓二層201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及面形檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種離線光學(xué)元件裝調(diào)平臺及裝調(diào)方法，包括：導(dǎo)軌、設(shè)置在所述導(dǎo)軌上的第一轉(zhuǎn)臺和第二轉(zhuǎn)臺、棱鏡平臺、安裝在棱鏡平臺上的多個棱鏡；激光器和波前傳感器；兩個轉(zhuǎn)臺用于使激光器和波前傳感器旋轉(zhuǎn)至所需的角度，所需的角度指激光器發(fā)射的激光束照射在所述多個棱鏡P1?Pn中的一個上被反射后，反射光線可以被波前傳感器所接收；裝調(diào)平臺還包括處理器，用于接收并顯示波前傳感器發(fā)送的波前圖像，并根據(jù)所述波前圖像判斷光學(xué)元件面型的變化情況。本申請通過波前傳感器對光學(xué)元件面型在裝配過程中的面型變化情況進(jìn)行監(jiān)測，實(shí)時對裝配過程進(jìn)行調(diào)整優(yōu)化，可保證光學(xué)元件在裝配過程中最大程度保持其原始面型狀態(tài)。