一種激光器光譜在線測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010244202.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111289107B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN111289107B 申請公布日 2022-03-11
分類號 G01J3/45（2006.01）I;G01J9/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉廣義;江銳;韓曉泉;趙江山;沙鵬飛;殷青青;張華;胡馨月 申請（專利權(quán)）人 北京科益虹源光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 任巖
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號10號樓二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種激光器光譜在線測量裝置及方法，其中，該激光器光譜測量裝置包括：第一光路組件和第二光路組件，第二光路組件與第一光路組件構(gòu)成測量光路。其中，第二光路組件包括：FP標(biāo)準(zhǔn)具和光柵，勻化處理后的激光光束經(jīng)過FP標(biāo)準(zhǔn)具以產(chǎn)生干涉條紋；以及光柵在測量光路中設(shè)置于FP標(biāo)準(zhǔn)具之后，用于對經(jīng)過FP標(biāo)準(zhǔn)具的激光光束進(jìn)行色散處理。本發(fā)明通過FP標(biāo)準(zhǔn)具與光柵在測量光路中的“串聯(lián)”設(shè)置，實(shí)現(xiàn)了對激光光束中心波長較寬范圍的高精度測量，以及對相應(yīng)線寬和E95的光譜參數(shù)的精準(zhǔn)測量，該測量光路中無運(yùn)動元件，結(jié)構(gòu)簡單緊湊、測量精度高、穩(wěn)定性高，其相應(yīng)的測量算法簡單高效，具有極高的科研或商業(yè)應(yīng)用價(jià)值。