準分子激光器高壓脈沖電源固態(tài)開關的控制及監(jiān)測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010677553.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113934166A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113934166A 申請公布日 2022-01-14
分類號 G05B19/042（2006.01）I 分類 控制；調節(jié);
發(fā)明人 曹沛;徐向宇;江銳;袁釗;李學;張兵 申請（專利權）人 北京科益虹源光電技術有限公司
代理機構 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 任巖
地址 100176北京市大興區(qū)經濟技術開發(fā)區(qū)經海四路156號10號樓二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種準分子激光器高壓脈沖電源固態(tài)開關的控制及監(jiān)測系統(tǒng)，包括：環(huán)境信號采集及處理單元，用于采集所述準分子激光器的工作環(huán)境信號，并形成環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測信號；多路狀態(tài)互鎖單元，連接至環(huán)境信號采集及處理單元，用于鎖存環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測信號，并輸出互鎖電平信號及狀態(tài)上傳信號；MCU主控單元，連接至多路狀態(tài)互鎖單元，用于接收并處理所述狀態(tài)上傳信號；脈沖觸發(fā)輸出單元，連接至多路狀態(tài)互鎖單元，用于接收前級觸發(fā)脈沖信號，并根據多路狀態(tài)互鎖單元輸出的互鎖電平信號控制固態(tài)開關的通斷。本公開能夠精確控制并監(jiān)測激光器每次觸發(fā)出光時的電源狀態(tài)，出現異常時立刻互鎖輸出，從而保護激光器高壓脈沖電源可靠運行。