一種大口徑多面體光學表面疵病自動化檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011073348.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112147151A 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN112147151A 申請公布日 2020-12-29
分類號 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王曦;俞偉洋;陳堅;吳周令 申請（專利權）人 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司
代理機構 合肥天明專利事務所（普通合伙） 代理人 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司
地址 230031安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號創(chuàng)新產業(yè)園C4樓206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大口徑多面體光學表面疵病自動化檢測裝置，包括有平臺基座、滑動設置于平臺基座上的載入載出移動工作臺和可移動檢測單元安裝架、橫向滑動設置于可移動檢測單元安裝架上的橫向滑板、豎直滑動設置于橫向滑板上的豎直滑板、固定于豎直滑板上的角度旋轉臺、與角度旋轉臺連接的模塊化檢測單元、固定連接于載入載出移動工作臺上的水平旋轉臺和大口徑多面體光學元件裝夾裝置。本發(fā)明可移動檢測單元安裝架的縱向移動實現(xiàn)待測元件的對焦，通過角度旋轉臺、水平旋轉臺使得模塊化檢測單元的探頭朝向待測光學表面，通過橫向滑板和豎直滑板的移動，實現(xiàn)模塊化檢測單元二維掃描檢測，利用機器檢測代替人工，大幅度提高檢測效率及檢測精度。??