一種大口徑多面體光學(xué)表面疵病自動(dòng)化檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011073348.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112147151A | 公開（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112147151A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-29 |
| 分類號(hào) | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王曦;俞偉洋;陳堅(jiān);吳周令 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司 |
| 地址 | 230031安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園C4樓206室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種大口徑多面體光學(xué)表面疵病自動(dòng)化檢測(cè)裝置，包括有平臺(tái)基座、滑動(dòng)設(shè)置于平臺(tái)基座上的載入載出移動(dòng)工作臺(tái)和可移動(dòng)檢測(cè)單元安裝架、橫向滑動(dòng)設(shè)置于可移動(dòng)檢測(cè)單元安裝架上的橫向滑板、豎直滑動(dòng)設(shè)置于橫向滑板上的豎直滑板、固定于豎直滑板上的角度旋轉(zhuǎn)臺(tái)、與角度旋轉(zhuǎn)臺(tái)連接的模塊化檢測(cè)單元、固定連接于載入載出移動(dòng)工作臺(tái)上的水平旋轉(zhuǎn)臺(tái)和大口徑多面體光學(xué)元件裝夾裝置。本發(fā)明可移動(dòng)檢測(cè)單元安裝架的縱向移動(dòng)實(shí)現(xiàn)待測(cè)元件的對(duì)焦，通過角度旋轉(zhuǎn)臺(tái)、水平旋轉(zhuǎn)臺(tái)使得模塊化檢測(cè)單元的探頭朝向待測(cè)光學(xué)表面，通過橫向滑板和豎直滑板的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)模塊化檢測(cè)單元二維掃描檢測(cè)，利用機(jī)器檢測(cè)代替人工，大幅度提高檢測(cè)效率及檢測(cè)精度。?? |
