一種光學(xué)測量入射角度的調(diào)節(jié)裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011529598.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112666080A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112666080A 申請公布日 2021-04-16
分類號 G01N21/01;G02B7/182 分類 測量；測試;
發(fā)明人 俞偉洋;陳堅;吳周令 申請（專利權(quán)）人 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓燕
地址 230031 安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園C4樓206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)測量入射角度的調(diào)節(jié)裝置及方法，光學(xué)測量入射角度的調(diào)節(jié)裝置包括有第一反射鏡、第二反射鏡、直線模組和旋轉(zhuǎn)滑臺，第一反射鏡和第二反射鏡均固定于對應(yīng)的二維調(diào)整鏡架上，旋轉(zhuǎn)滑臺連接于直線模組上由直線模組驅(qū)動進(jìn)行直線移動，固定有第二反射鏡的二維調(diào)整鏡架連接于旋轉(zhuǎn)滑臺上由旋轉(zhuǎn)滑臺驅(qū)動進(jìn)行轉(zhuǎn)動，第二反射鏡的反射面朝向第一反射鏡的反射面使得第一反射鏡反射面反射出來的光線反射到第二反射鏡的反射面上。本發(fā)明能減小變角度光路能量變化，大大降低反射率變化的范圍，滿足測試精度要求。