一種用于硅片刷片機(jī)的刷洗轉(zhuǎn)動(dòng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821759270.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209183510U 公開（公告）日 2019-07-30
申請公布號 CN209183510U 申請公布日 2019-07-30
分類號 H01L21/67（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 厲惠宏; 胡曉光; 徐繼東 申請（專利權(quán)）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 宋纓;孫健
地址 315800 浙江省寧波市保稅區(qū)0125-3地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于硅片刷片機(jī)的刷洗轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，包括工作臺，工作臺的上端安裝有清洗腔底罩，清洗腔底罩上端安裝有清洗腔排水罩，洗腔排水罩上端中部安裝有真空罩杯，清洗腔底罩內(nèi)豎直安裝有高轉(zhuǎn)速電機(jī)，高轉(zhuǎn)速電機(jī)上端的輸出軸連接有驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸的上端豎直穿過真空罩杯與吸盤相連，驅(qū)動(dòng)軸內(nèi)設(shè)置有連接吸盤與真空罩杯腔體的管路，真空罩杯一側(cè)開有與抽真空設(shè)備相連的接口，高轉(zhuǎn)速電機(jī)一側(cè)設(shè)置有相配的減速裝置。本實(shí)用通過高轉(zhuǎn)速電機(jī)控制吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)，升降氣缸控制圓盤刷上下升降，旋轉(zhuǎn)氣缸控制擺桿軸帶著圓盤刷一起轉(zhuǎn)動(dòng)，自動(dòng)化程度高，大大降低了人工成本，通過吸盤吸住硅片進(jìn)行清洗，可以避免對硅片表面的損傷。