一種防止硅片放偏的自動探測控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023072836.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214311426U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214311426U 申請公布日 2021-09-28
分類號 G05B19/414（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 李慎重;童科峰;田達晰;蔣玉龍;王震;袁東寧 申請（專利權）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理機構 上海泰能知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 王亮;宋纓
地址 315800浙江省寧波市保稅東區(qū)0125-3地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種防止硅片放偏的自動探測控制系統(tǒng)，包括外延機臺，外延機臺上設置有旋轉(zhuǎn)基座，旋轉(zhuǎn)基座上繞著中心呈環(huán)形陣列布置有若干個用于放置硅片的基座槽，旋轉(zhuǎn)基座的上方靠近基座槽中心的位置設置有第二測距傳感器，第二測距傳感器的一側(cè)靠近基座槽邊緣的位置設置有第一測距傳感器，第二測距傳感器和第一測距傳感器均與PLC控制器電性相連，PLC控制器與控制外延機臺的EAP控制執(zhí)行操作系統(tǒng)相連。本實用新型增加硅片裝入槽內(nèi)的自動探測和識別系統(tǒng)，使用PLC采集和輸出數(shù)據(jù)，利用EAP自動控制平臺，實現(xiàn)硅片位置偏離檢測技術監(jiān)控和實時反饋，有效防止異常外延片的產(chǎn)生，確保外延片質(zhì)量穩(wěn)定可靠。