MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110209746.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112857350A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112857350A 申請公布日 2021-05-28
分類號 G01C19/56(2012.01)I 分類 -
發(fā)明人 李楊;楊珊;闞梟;占瞻;馬昭;譚秋喻;黎家健;洪燕 申請（專利權(quán)）人 廣東導(dǎo)遠科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳中細軟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 袁文英
地址 210093江蘇省南京市棲霞區(qū)仙林大學(xué)城元化路南大科學(xué)園新興產(chǎn)業(yè)孵化基地研發(fā)樓8層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS陀螺儀，包括內(nèi)質(zhì)量環(huán)、外質(zhì)量環(huán)、錨點結(jié)構(gòu)、換能器和內(nèi)外耦合梁，所述內(nèi)質(zhì)量環(huán)包括4N個呈圓周陣列分布的內(nèi)質(zhì)量塊和連接在相鄰兩個所述內(nèi)質(zhì)量塊之間的內(nèi)質(zhì)量耦合梁，其中，N為整數(shù)，且N≥2；所述外質(zhì)量環(huán)同軸設(shè)置在所述內(nèi)質(zhì)量環(huán)的外側(cè)，所述外質(zhì)量環(huán)包括分別與4N個內(nèi)質(zhì)量塊位于同一徑向的外質(zhì)量塊和連接在相鄰兩個外質(zhì)量塊之間的外質(zhì)量耦合梁；所述內(nèi)外耦合梁連接在相鄰的所述外質(zhì)量塊與所述內(nèi)質(zhì)量塊之間，能夠傳遞相鄰的所述內(nèi)質(zhì)量塊與所述外質(zhì)量塊之間的徑向力。本發(fā)明的MEMS陀螺儀具有較大有效質(zhì)量，提高了分辨率，驅(qū)動/檢測模態(tài)頻率相差較小。??