一種離子束流調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710408716.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107221485B 公開（公告）日 2019-02-05
申請公布號 CN107221485B 申請公布日 2019-02-05
分類號 H01J37/141 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢鋒 申請（專利權(quán)）人 東莞帕薩電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東莞帕薩電子裝備有限公司
地址 523407 廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)塘唇管理區(qū)金富二路華南工業(yè)園聚惠E谷
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明主要屬于離子束流調(diào)節(jié)裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種離子束流調(diào)節(jié)裝置。包括鐵芯、極頭、第一線圈和第二線圈，所述鐵芯包括上鐵芯塊、下鐵芯塊、前鐵芯塊和后鐵芯塊，所述上鐵芯塊和所述下鐵芯塊的前后兩端分別通過前鐵芯塊和后鐵芯塊連接，所述上鐵芯塊、所述下鐵芯塊、所述前鐵芯塊和所述后鐵芯塊的內(nèi)側(cè)面共同界定形成貫通孔；所述離子束流調(diào)節(jié)裝置還包括依次堆疊套設(shè)在所述前鐵芯塊上的第三線圈和依次堆疊套設(shè)在所述后鐵芯塊上的第四線圈。本發(fā)明所述離子束流調(diào)節(jié)裝置不僅能夠使束流通過時(shí)帶狀束流的截面形狀保持直線形狀，而且能夠調(diào)節(jié)束流在高度方向上的均勻性，以滿足束流傳輸和注入的要求。