一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022079239.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212375378U | 公開（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申請公布號 | CN212375378U | 申請公布日 | 2021-01-19 |
| 分類號 | C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 錢鋒;姚飛;王小東;廖運華;梁錦東;陳進(jìn)福 | 申請（專利權(quán)）人 | 東莞帕薩電子裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳國海智峰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 東莞帕薩電子裝備有限公司 |
| 地址 | 523000廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)塘唇管理區(qū)金富二路51號聚慧e谷高新科技園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括抽真空機(jī)構(gòu)、反應(yīng)機(jī)構(gòu)及移送機(jī)構(gòu)，抽真空機(jī)構(gòu)與反應(yīng)機(jī)構(gòu)相連通，移送機(jī)構(gòu)將待處理產(chǎn)品送入或取出反應(yīng)機(jī)構(gòu)，反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括反應(yīng)腔室、電極組件及承載組件，電極組件設(shè)置在反應(yīng)腔室的頂端并在反應(yīng)腔室的內(nèi)部移動，承載組件設(shè)置在反應(yīng)腔室的底端并在反應(yīng)腔室的內(nèi)部移動，電極組件包括至少一個出氣裝置，出氣裝置從上往下依次包括彌散管和彌散球頭，彌散管和彌散球頭均設(shè)有若干個均勻分布的彌散孔。以此可以使鍍膜氣體從彌散管和彌散球頭中全方位發(fā)散，確保鍍膜氣體能均勻地粘附在疫苗瓶內(nèi)壁，避免疫苗瓶內(nèi)壁出現(xiàn)鍍膜缺陷、不完整的問題，有利于提高疫苗瓶的生產(chǎn)質(zhì)量。?? |
