一種晶圓盤自動(dòng)上料及擴(kuò)膜設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110871961.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113510610A 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113510610A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) B24B37/00（2012.01）I;B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李輝;王體 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市諾泰芯裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京新眾合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 彭雄
地址 518100廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓盤自動(dòng)上料及擴(kuò)膜設(shè)備。包括晶圓盤提籃裝置、提籃升降臺(tái)機(jī)構(gòu)、夾爪運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作、晶圓夾爪機(jī)構(gòu)、晶圓擴(kuò)模工作臺(tái)、XY軸直線模組，本發(fā)明可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)制程中晶圓藍(lán)膜盤的快捷批量化生產(chǎn)，代替人工作業(yè)方式，具有高效高質(zhì)量性能穩(wěn)定，減少了中間擴(kuò)膜機(jī)設(shè)備，減少人工操作及生產(chǎn)管理成本，產(chǎn)品質(zhì)量不會(huì)隨人為因素而變化導(dǎo)致質(zhì)量不穩(wěn)定，同時(shí)方便快捷生產(chǎn)作業(yè)，便于對(duì)晶圓產(chǎn)品儲(chǔ)放以及方便使用，有利于對(duì)晶圓產(chǎn)品的環(huán)境保護(hù)，有效晶圓臟污等品質(zhì)問題，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。