一種弧形隧道加熱裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022542216.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213880296U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213880296U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | H05B3/06（2006.01）I;H05B3/22（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 李輝;王體;李俊強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市諾泰芯裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市中聯(lián)專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬(wàn)豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種弧形隧道加熱裝置，包括上部隔熱板，所述上部隔熱板固定于整個(gè)裝置頂部，所述上部隔熱板下端設(shè)置有隧道加熱機(jī)構(gòu)，所述隧道加熱機(jī)構(gòu)包括上加熱板、下加熱板、熱電隅、電熱絲、引線和加熱腔體，所述上加熱板下端內(nèi)側(cè)和下加熱板上端內(nèi)側(cè)均開(kāi)設(shè)有安裝槽，所述安裝槽內(nèi)部固定連接有電熱絲，所述隧道加熱機(jī)構(gòu)下端焊接有下部隔熱板。本實(shí)用新型是由上下兩塊弧形加熱板構(gòu)成的，每塊加熱板均勻的分布了加熱絲，形成了一個(gè)槽型加熱腔體，配合上下檢測(cè)溫度的熱電隅，以及溫度控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度均勻性良好，溫度誤差小，恒溫效率高等優(yōu)點(diǎn)，方便生產(chǎn)中產(chǎn)品與載盤(pán)快速的更換流動(dòng)，從而提高芯片產(chǎn)品生產(chǎn)效率。 |
