一種微型工件的PVD遮蔽裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023346449.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214361640U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361640U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C14/04（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蔡喜斌;丁振勇;沈雄飛;薛春天;王大洪;阮志明;姚峰;華秀菊 申請（專利權(quán)）人 深圳市正和忠信股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 崔艷崢
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道佳興路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種微型工件的PVD遮蔽裝置，包括微型工件，微型工件包括兩個柱狀結(jié)構(gòu)，柱狀結(jié)構(gòu)設有凹槽，微型工件的PVD遮蔽裝置包括長條底板、固定彈片、支撐彈片和遮蔽件；固定彈片包括一個固定端和兩個支撐端，固定端設置在長條底板上，柱狀結(jié)構(gòu)位于遮蔽件中，兩個支撐端伸入遮蔽件中并卡入凹槽；支撐彈片的一端設置在長條底板上，另一端與遮蔽件抵接，遮蔽件用于遮蔽柱狀結(jié)構(gòu)。本實用新型能夠結(jié)構(gòu)緊湊，能夠牢牢地固定微型工件，固定性能良好，在鍍膜過程中不會有工件掉落；裝卸方便；裝載量大，能夠大大提高裝爐量，降低生產(chǎn)成本。