一種可穩(wěn)定硅源濃度的氣動閥門組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922183477.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211502324U 公開（公告）日 2020-09-15
申請公布號 CN211502324U 申請公布日 2020-09-15
分類號 F17C13/04(2006.01)I;F17C5/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李慎重;蔣玉龍;王震;陳華;田達(dá)晰;張銀光;鄧偉;馬向陽;楊德仁 申請（專利權(quán)）人 金瑞泓微電子（衢州）有限公司
代理機構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 王亮
地址 324000浙江省衢州市綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)盤龍南路52號9幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種可穩(wěn)定硅源濃度的氣動閥門組件，包括與氫氣輸入端相連的進(jìn)氣閥，所述的進(jìn)氣閥同時連接靜態(tài)氣路和載氣氣路，所述的靜態(tài)氣路上設(shè)置有靜態(tài)手動閥、靜態(tài)常開氣動閥和靜態(tài)調(diào)壓閥，所述的載氣氣路上設(shè)置有常閉氣動閥和載氣調(diào)壓閥，所述的靜態(tài)氣路和載氣氣路同時通入到氣源鋼瓶中。本實用新型通過設(shè)置兩個氣路，實現(xiàn)動態(tài)和靜態(tài)壓力的自動切換，保持動態(tài)和靜態(tài)壓力為同一數(shù)值，從而達(dá)到硅源濃度穩(wěn)定的目的。??