一種在高COP硅單晶襯底上制備200mm-300mm低缺陷外延片的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610041286.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105543951A 公開（公告）日 2016-05-04
申請公布號 CN105543951A 申請公布日 2016-05-04
分類號 C30B25/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 梁興勃;王震;陳華;李慎重;楊盛聰;鄔幸富;田達晰 申請（專利權）人 金瑞泓微電子（衢州）有限公司
代理機構 上海泰能知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 黃志達
地址 315800 浙江省寧波市保稅東區(qū)0125-3地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種在高COP硅單晶襯底上制備200mm-300mm低缺陷外延片的方法，包括：(1)將高COP硅單晶襯底在純氫氣氣氛中升溫至800～850℃，保溫5～10s；(2)然后升溫至烘烤溫度，將外延爐的保護氣氛切換為氫氣、氬氣其中的一種或幾種氣氛，對上述硅單晶襯底進行烘烤；(3)將外延爐的保護氣氛切換為純氫氣氣氛，降溫至外延生長工藝溫度并保溫；通入硅源氣體，先在硅單晶襯底上生長本征外延層，隨后通入硅源氣體和摻雜氣體，生長摻雜外延層即得。本發(fā)明工藝簡單，成本低，利用外延爐對硅單晶襯底片進行短時間的高溫烘烤使表面COP數(shù)量減少或消除，并結合特定的外延生長工藝控制技術，制備得到了低缺陷密度的硅外延片。