一種銅蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911383374.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110904456B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110904456B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23F1/18（2006.01）I;H05K3/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 章曉冬;劉江波;童茂軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海天承化學(xué)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 鞏克棟 |
| 地址 | 201599 上海市金山區(qū)金山衛(wèi)鎮(zhèn)秋實(shí)路688號(hào)1號(hào)樓5單元359室S座 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種銅蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用。所述銅蝕刻液中包含如下組分：酸以其溶質(zhì)計(jì)算100?200g/L、四價(jià)鈰鹽200?500g/L和助劑0.01?10g/L；所述銅蝕刻液的溶劑為水；所述助劑為咪唑類(lèi)化合物、磺酸類(lèi)化合物或多元胺中的任意一種或至少兩種的混合物。本發(fā)明所述銅蝕刻液能夠保證高蝕刻效率，同時(shí)也滿(mǎn)足蝕刻液的高溶銅量，蝕刻過(guò)程中不僅穩(wěn)定性?xún)?yōu)異，而且能夠極大程度上避免銅側(cè)蝕量多和底銅出現(xiàn)鉆蝕的問(wèn)題。而且在發(fā)生蝕刻銅反應(yīng)后，無(wú)需任何處理，即能快速回收銅。 |
