一種吸附式芯片轉(zhuǎn)移裝置及芯片返修設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110685825.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113363195A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113363195A 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;B23K1/018（2006.01）I;B23K3/04（2006.01）I;B23K3/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳魏;潘兵 申請（專利權(quán)）人 快克智能裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 杭州昱呈專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 雷仕榮
地址 213000江蘇省常州市武進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種吸附式芯片轉(zhuǎn)移裝置，其包括基板、滑板、驅(qū)動組件、活動座、吸桿、吸咀及彈性件，滑板沿縱向可滑動地設(shè)于基板上，驅(qū)動組件驅(qū)動滑板移動，活動座沿縱向可滑動地設(shè)于滑板上，吸桿安裝在活動座上，吸桿與真空發(fā)生器連接，吸咀連接在吸桿的下端，彈性件沿活動座的滑動方向可伸縮地設(shè)于滑板與活動座之間，活動座搭抵在彈性件的上端，從而使得活動座懸浮在滑板上。本發(fā)明的吸附式芯片轉(zhuǎn)移裝置，吸附芯片時對芯片起到了緩沖作用，有效克服了吸取芯片過程中，芯片因受到過大壓力而發(fā)生損壞的情況，實現(xiàn)了芯片的無損轉(zhuǎn)移。本發(fā)明還公開了一種帶有該吸附式芯片轉(zhuǎn)移裝置的芯片返修設(shè)備。