一種曝光鏡頭的位置標(biāo)定裝置及其標(biāo)定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110186041.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112859545A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112859545A 申請公布日 2021-05-28
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉棟;李偉成;張雷 申請（專利權(quán)）人 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215399 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)南淞路111號華平（昆山）智造園B-6號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種曝光鏡頭的位置標(biāo)定裝置，用于確定直寫式光刻設(shè)備的曝光鏡頭的位置坐標(biāo)，包括安裝于光刻設(shè)備的運(yùn)動平臺上的四象限光電探測器和位于四象限光電探測器上方的光罩，光罩至少對應(yīng)于四象限光電探測器的一個象限設(shè)置有周期性分布的透光部與不透光部。通過曝光鏡頭產(chǎn)生相應(yīng)的光斑并移動四象限光電探測器來確定曝光鏡頭的位置。通過設(shè)置周期性分布的透光部和不透光部能夠使得四象限光電探測器在光斑下移動相同的距離，透射到探測器的光能則成比例的增加，提高了檢測靈敏度。