一種激光加熱裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121428615.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216361912U 公開(kāi)（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216361912U 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類(lèi)號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李金;李偉成;胥濤棚;劉棟;董昱君;張雷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215399江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)南淞路111號(hào)華平（昆山）智造園B-6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種激光加熱裝置，包括光源組件、擴(kuò)束裝置、扇形光形成裝置，所述光源組件發(fā)出光束，經(jīng)所述擴(kuò)束鏡頭和所述扇形光形成裝置形成條形光斑，覆蓋曝光鏡頭的投影區(qū)域。精準(zhǔn)的對(duì)投影區(qū)域進(jìn)行加熱。