一種用于基件卷對(duì)卷的曝光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110153987.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113219791A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113219791A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李文章;張雷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215399 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)南淞路111號(hào)華平（昆山）智造園B-6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種卷對(duì)卷曝光裝置及曝光方法，包括滾筒、傳動(dòng)輪組、曝光系統(tǒng)，基件在所述傳動(dòng)輪組帶動(dòng)下貼附在所述滾筒圓周表面轉(zhuǎn)動(dòng)并完成曝光，還包括放料裝置、收料裝置、暫存料裝置，用于基件的收卷或/和放卷。本發(fā)明的卷對(duì)卷曝光裝置的基件通過滾筒上分布的真空吸附空形成負(fù)壓有效貼附在滾筒圓周表面并進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)及曝光，增加了基件在滾筒上的平整度，有效提升了基件的對(duì)準(zhǔn)及曝光效果；暫存料裝置在對(duì)第一面已曝光的基件收卷后可以實(shí)現(xiàn)反轉(zhuǎn)，將第一面已曝光的基件放卷再次傳送到滾筒完成第二面曝光，節(jié)省了一套對(duì)位裝置及曝光裝置。